SiC晶圓激光快速退火系統

產品介紹

采用激光對重摻雜 SiC 表面沉積一種或幾種過渡金屬進行合金化，精確控制激光能量和分布，形成良好的歐姆接觸。采用激光方式可忽略襯底正面結構的影響，更好的與減薄工藝兼容，簡化工藝流程，提高器件性能。